真空度是镀膜机最关键的性能指标。二手镀膜机经常会出现真空度达不到要求的问题。以下是系统化的处理方案。
第一步检查简单的可能原因。腔体门是否关好、密封条是否清洁、放气阀是否关闭。这些最基础的原因常常被忽略。先排除这些简单问题，再进行深入排查。
第二步检查密封系统。所有密封圈和密封条是否存在老化、硬化或破损。用丙酮在可疑泄漏点喷洒，同时观察真空计的变化。密封件更换是成本较低的维修项目。
第三步检查真空泵。机械泵的泵油是否乳化或不足、扩散泵的加热系统是否正常工作、分子泵的转速是否正常。泵油需要定期更换，乳化变质的泵油会严重影响抽速。
第四步检查管路系统。真空阀门是否完全开启、管路是否有堵塞或变形。特别是前级管道如果有异物或冷凝物积累，会阻碍气体排放。
第五步检查真空计。真空计的读数是否准确。用标准真空计进行对比校准，排除真空计故障的可能性。
按照以上顺序排查，百分之九十的真空度问题都可以找到原因并解决。如果以上步骤都无法解决，可能需要专业技术人员进行深度检修。
