曝光机是光电行业的核心设备，采购二手曝光机需要严格的验收流程来确保设备性能。以下是一套标准的验收流程供参考。
第一步是资料审查。要求供应商提供设备的原始购买信息、维护记录、光源更换记录等历史资料。通过这些资料可以初步判断设备的使用情况和维护水平。
第二步是外观和静态检查。检查设备外观有无明显损伤、电气线路是否完好、各运动部件是否灵活、密封件是否老化。静态检查可以发现一些明显的维修需求。
第三步是通电测试。通电后检查控制系统的启动是否正常、各轴运动是否顺畅、报警系统是否正常工作。运行设备三十分钟以上，观察是否有异常现象。
第四步是核心功能测试。测试光源输出是否均匀稳定、对准精度是否达标、真空吸附系统是否正常工作。建议用标准测试板进行试曝光，检查曝光效果。
第五步是精度检测。使用专用检测工具测量曝光机的各项精度指标，与出厂标准进行对比。如果条件允许，请第三方检测机构出具检测报告。
