曝光机的光源系统是决定曝光质量和生产效率的核心部件。从传统的汞灯光源到新兴的LED光源，曝光技术经历了数十年的发展演变。
汞灯光源是曝光机最传统的光源类型，利用汞蒸气放电产生紫外光。汞灯的技术非常成熟，光谱范围宽、紫外光强度大，适用于各种曝光材料和工艺。但汞灯寿命较短，通常为一千到两千小时，且需要五到十分钟的预热时间才能达到稳定工作状态。汞灯的光强随时间逐渐衰减，需要定期监测和更换。
LED光源是近年来快速普及的新型光源技术。LED光源的寿命长达两万到三万小时，即开即用无需预热，光强稳定性好。LED光源的能效比汞灯高出百分之四十以上，电费成本显著降低。LED光源的弱点是单颗LED的功率有限，大面积曝光需要多颗LED阵列组合，初期投资较高。
从曝光效果看，LED光源的波段集中、单色性好，在某些精密曝光工艺中表现优于汞灯。特别是在微细线路和精密光刻方面，LED光源的分辨率优势更加明显。
对于采购二手曝光机的用户来说，LED光源型号更值得推荐。虽然采购价格可能高一些，但长期使用的综合成本更低，而且LED光源在二手市场更加保值。
