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曝光机基础知识:从原理到工艺

2026年07月16日
曝光机基础知识:从原理到工艺

系统介绍曝光机的工作原理、分类以及在不同行业的应用工艺。


曝光机是光刻工艺的核心设备,通过光源照射使感光材料发生化学变化,将掩模版上的图形转移到基板上。曝光技术在PCB、半导体和平面显示等行业中有着广泛的应用。

曝光机按光源类型分为:紫外曝光机使用汞灯或LED紫外光源;激光直写曝光机使用激光束直接在基板上扫描;电子束曝光机使用电子束进行纳米级图形加工。

按曝光方式分为接触式曝光机、接近式曝光机和投影式曝光机。接触式分辨率和效率最高但掩模版易损坏,投影式精度高但对准系统复杂。

曝光工艺的关键参数包括曝光剂量、曝光时间、对准精度和焦深。曝光剂量与光源强度和曝光时间相关,需要根据感光材料的特性和膜厚确定。

在二手光学设备市场中,曝光机是最受关注的设备类型之一。一台保养良好的二手曝光机,可以以新机五到七成的价格,实现相近的生产能力。


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