检测设备的精度验证是采购和使用过程中的核心工作。不同检测设备有不同的精度验证标准和方法。
二次元影像测量仪的精度验证使用标准刻度尺或标准块。测量已知尺寸的标准件，计算测量值与标准值的偏差。影像测量仪的测量误差一般应控制在正负零点零零三毫米以内。
三坐标测量机的精度验证按照ISO10360标准进行。使用标准球或量块进行长度测量误差、探测误差和重复性误差的测试。三坐标测量机的精度等级决定了允许的误差范围。
粗糙度仪的精度验证使用标准粗糙度样板。测量标准样板的值，与标称值对比。允许偏差应在百分之五以内。
圆度仪的精度验证使用标准环规。测量标准环规的圆度值，与标称值对比。圆度仪的精度通常要求达到零点一微米级别。
光谱分析仪的精度验证使用已知成分的标准样品。测量结果与标准值对比，判断光谱仪的准确性。
所有精度验证工作都应该由有资质的检测人员进行，出具正式的校准证书。证书上应标明检测标准和判定结论。
