精密光学设备对工作环境的振动有严格要求。即使微小的振动也会影响测量精度或加工质量。特别是高倍率显微镜、激光干涉仪、三坐标测量仪等设备，对环境振动尤为敏感。
振动来源可分为内部振动和外部振动。内部振动来自设备本身的运动部件，如主轴旋转、轴运动、真空泵运转等。外部振动包括附近机器的运转、车辆通行、人员走动等。在进行振动分析时，需要区分振源来源。
振动测量使用加速度计和振动分析仪。测量位置选择在设备安装基座和关键工作区域。测量频率范围从一到一百赫兹，重点关注设备工作频率附近频段的振动幅度。振动幅度应小于设备制造商规定的限值。
被动隔振方案包括：使用隔振垫或空气弹簧隔离外部振动；安装质量块增加系统惯性；采用主动隔振台抵消环境振动。对于高精度设备，主动隔振台的隔振效果最好，可以将振动降低到微米级水平。
设备布局也是减少振动影响的重要手段。精密设备应远离冲床、空压机等强振源。设备基础应与建筑结构独立，避免与厂房主体结构刚性连接。
对于采购二手精密设备的用户来说，安装环境的振动条件评估应该在设备安装前完成。
