设备润滑是机械维护中最基础也是最重要的工作。正确的润滑可以显著降低机械磨损、延长设备寿命、提高加工精度。光学设备中的精密运动部件对润滑有更高的要求。
主轴轴承是精雕机最重要的润滑点。高速主轴通常采用油脂润滑或油气润滑方式。油脂润滑需要选择高速轴承专用润滑脂，加注量不宜过多，一般为轴承腔体空间的百分之三十到五十。油气润滑则通过润滑油和压缩空气的混合物持续润滑，适合超高转速主轴。
直线导轨和滚珠丝杆需要使用专用的导轨润滑油或导轨润滑脂。这类润滑油具有良好的抗爬行性能和极压抗磨性能。润滑脂则适合垂直安装的导轨，不易流失。
真空设备的润滑比较特殊，需要使用低蒸汽压的真空泵油或真空润滑脂。普通润滑油在真空环境下挥发会污染真空腔体，影响镀膜质量。
润滑管理的要点包括：制定润滑时间表，明确各润滑点的润滑周期和用油品种；使用专用的注油工具，避免交叉污染；定期检查润滑系统的油位和油质，变质或污染的润滑油应及时更换。
